Switzerland – Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour le Centre de MicroNanoTechnologie
Issued by EPFL-Scientific Equipment · via TED — Tenders Electronic Daily (EU)
- Published
- 6 Oct 2026
- Closes
- 12 Nov 2026, 23:59 UTC
- Reference
- 688748-2026
- Location
- Switzerland
- Sector
- Manufacturing & Supply
- Type
- goods
At a glance
EPFL-Scientific Equipment in Switzerland has published an invitation to bid in manufacturing & supply: “Switzerland – Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour le Centre de MicroNanoTechnologie”. Submissions close on 12 November 2026, 38 days from today. Quote reference 688748-2026 in any correspondence with the buyer. One document is attached to this notice. FreeTender has recorded 7 notices from this buyer since 2026, 6 of them currently open. There are 36 open manufacturing & supply notices in Switzerland on FreeTender. Bids are submitted to the buyer through TED — Tenders Electronic Daily (EU), not through FreeTender.
Details
L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour son Centre de MicroNanoTechnologie (CMi), afin de traiter aussi bien des photomasques carrés que des wafers standards, et de diverses dimensions possibles. Le CMi est une installation de salles blanches dédiée à la micro/nano fabrication, centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL, ainsi que pour les industriels locaux (>650 utilisateurs actifs par an). Cet équipement sera dédié aux besoins de recherche de pointe en micro et nano fabrication, et plus particulièrement à la gravure de couches de Chrome déposées sur des masques/réticules de lithographie ainsi que sur des wafers. Une grande importance sera accordée non seulement à la qualité des gravures, mais également à comment les contaminations croisées entre différents matériaux sont évitées comme second élément clé pour la flexibilité d’usage prévue pour cet équipement. La facilité d’utilisation de l’équipement, sa simplicité/rapidité d’apprentissage pour les nouveaux utilisateurs et sa flexible mais néanmoins robuste capacité de contrôle de procédés de gravure dans un environnement type R&D sont également de grande importance. La proximité, la réactivité du fournisseur et le support disponible (technique, procédés) seront évalués.
Lots Lot 1 — Un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour le Centre de MicroNanoTechnologie
Buyer: EPFL-Scientific Equipment
Buyer country: CHE
Procedure: open
CPV code: 38000000
Full notice, tender documents and how to bid are on the official TED page (link above).
Context for bidders
We hold 7 notices from EPFL-Scientific Equipment, going back to August 2026 — 6 of them still open. There are 36 open Manufacturing & Supply tenders in Switzerland. This one closes in 38 days.
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Documents
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