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Germany – Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Issued by Universität Heidelberg · via TED — Tenders Electronic Daily (EU)

Published
2 Sept 2026
Closes
5 Oct 2026, 23:59 UTC
Reference
593298-2026
Location
Germany
Sector
Manufacturing & Supply
Type
goods

Details

Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Lots Lot 1 — Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage: Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung qualitativ hochwertiger Materialfilme mit präzise definierten Schichtdicken im Nanometer-Mikrometerbereich. Das geplante ICP-PECVD System soll die gezielte Abscheidung von dielektrische Dünnfilmen mit steuerbaren optischen Eigenschaften und präzise kontrollierbaren Schichtdicken durch in-situ Monitoring ermöglichen. Hochwertige dielektrische Schichten für optische Passivierungen, optische Wellenleiter und Mehrlagensysteme sowie als Hartmasken für hochauflösende Lithographieverfahren sollen abgeschieden werden. Im Rahmen unserer Forschungsarbeiten sollen Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, amorphes Silizium und diamantähnliche Kohlenstoffschichten mit einer neuen Anlage optimiert abgeschieden werden können. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 806.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung und vollständige Aufstellung an der Verwendungsstelle. - Entsorgung von Verpackungen und überzähligen Bestandteilen. - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg.

Buyer: Universität Heidelberg

Buyer country: DEU

Procedure: open

CPV code: 38000000

Full notice, tender documents and how to bid are on the official TED page (link above).

Context for bidders

We hold 2 notices from Universität Heidelberg, going back to August 20262 of them still open. They buy mostly in IT & Telecom and Manufacturing & Supply. There are 64 open Manufacturing & Supply tenders in Germany. This one closes in 34 days.

Documents

Before you bid on this tender

A quick checklist to help you decide whether to bid and prepare a compliant submission for this manufacturing & supply opportunity. Always verify the details on the official source.

  • Confirm the exact closing date and time (and time zone) on the official portal — deadlines are strict and can be revised by a corrigendum.
  • Read the full notice and every attached document, including the scope, specifications and any bill of quantities or terms of reference.
  • Check the eligibility criteria — prior similar experience, annual turnover, certifications and registrations — and make sure you qualify before investing effort.
  • Prepare any earnest-money deposit (EMD) or bid security and the required formats early; missing or wrongly-formatted documents are a common cause of rejection.
  • Note how bids must be submitted (online or physical), in what format, and whether a digital signature or portal registration is required.
  • Watch for corrigenda and clarifications right up to the deadline — requirements and dates can change.

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