zycgr22011903验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目公开招标公告

zycgr22011903 invites bids for zycgr22011903验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目公开招标公告. Project number 2505004096. Procurement category (品目): 货物/设备/仪器仪表/试验仪器及装置/其他试验仪器及装置. Region (地域): 上海. Budget: CNY 23,410,000.00. Published 26 October 2026. Bids close on 16 November 2026 01:00 UTC. Published on 中国政府采购网 (CCGP), the Ministry of Finance's designated procurement notice site. THE NOTICE TEXT IS IN CHINESE.

zycgr22011903验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目公开招标公告 财政部唯一指定政府采购信息网络发布媒体 国家级政府采购专业网站 服务热线：400-810-1996 | 服务投诉：010-63819289 首页 政采法规 购买服务 监督检查 信息公告 国际专栏 当前位置： 首页 » 政采公告 » 中央公告 » 公开招标公告 zycgr22011903验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目公开招标公告 2026年10月26日 15:14 来源： 【 打印 】 公告概要： 公告信息： 采购项目名称 验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目 品目 货物/设备/仪器仪表/试验仪器及装置/其他试验仪器及装置 采购单位 zycgr22011903 行政区域 上海市 公告时间 2026年10月26日 15:14 获取招标文件时间 2026年10月26日至2026年11月02日 每日上午:8:00 至 12:00 下午:12:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 上海国际招标有限公司网站(www.shabidding.com) 开标时间 2026年11月16日 09:00 开标地点 上海市延安西路358号美丽园大厦19楼1904-1会议室 预算金额 ￥2341.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 徐迪，阮相儒，何沛霖 项目联系电话 021-32173620、021-32173699 采购单位 zycgr22011903 采购单位地址 上海市合川路2380号 采购单位联系方式 王老师 021-64220901 代理机构名称 上海国际招标有限公司 代理机构地址 上海市延安西路358号美丽园大厦14楼 代理机构联系方式 徐迪，阮相儒，何沛霖 021-32173620、021-3217369 附件： 附件1 招标文件-验证与拓展单元相关设备第一批AI后技术反馈发售稿1026.pdf 项目概况 验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目 招标项目的潜在投标人应在上海国际招标有限公司网站(www.shabidding.com)获取招标文件，并于2026年11月16日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：2505004096 项目名称：验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目 预算金额：2341.000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：2341.000000 万元（人民币） 采购需求： 项目名称：验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目 本项目总预算金额：人民币2341万元 本项目总最高限价：人民币2341万元 其中各设备分项预算和最高限价如下： 设备1：自动剥离机 预算金额：人民币198万元 最高限价：人民币198万元 设备2：光刻胶喷胶机 预算金额：人民币280万元 最高限价：人民币280万元 设备3：自动匀胶显影设备inline 预算金额：人民币750万元 最高限价：人民币750万元 设备4：自动匀胶显影设备 预算金额：人民币308万元 最高限价：人民币308万元 设备5：晶圆清洗机 预算金额：人民币185万元 最高限价：人民币185万元 设备6：单片RCA清洗机 预算金额：人民币620万元 最高限价：人民币620万元 采购需求： 采购标的名称：验证与拓展单元相关设备第一批采购招标项目 设备1：自动剥离机 数量：1套 简要技术要求：自动剥离机是lift-off（剥离）工艺的专用自动化设备，该设备用于高效、无损地去除光刻胶及其上方覆盖的金属，从而形成所需的金属图形。设备通过精确控制基片在加热的剥离液中的浸泡、超声扰动、喷淋清洗及干燥等全过程，替代传统手动操作，能显著提高剥离工艺的效率和一致性，并极大减少因操作不当导致的图形损伤或残留，有效提升产品良率。该设备是实现柔性神经电极中贵金属（如金、铂铱）导线图形化的最后一环，是中试平台能力的体现，其稳定性对降低成本至关重要。 上述采购需求中未明确允许采购进口产品的，视为拒绝进口产品参加。 合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后8个月内，待接到招标人通知完成设备安装调试验收。 设备2：光刻胶喷胶机 数量：1套 简要技术要求：自动喷胶机区别于传统的旋涂技术。其核心技术在于通过精密的雾化喷嘴，将光刻胶溶液雾化为微米级的均匀液滴，在程序控制的扫描路径下，将胶雾沉积于静止或低速旋转的基片表面，随后通过温和的干燥和固化过程形成连续、均匀的胶膜。该设备是满足MEMS器件或特殊图形的需求，实现平台多维度的研发目标，完成三维微纳器件制造的关键设备。 上述采购需求中未明确允许采购进口产品的，视为拒绝进口产品参加。 合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后8个月内，待接到招标人通知完成设备安装调试验收。 设备3：自动匀胶显影设备inline 数量：1套 简要技术要求：采购设备为 200mm（8 寸）inline全自动匀胶显影机，与上海微电子 KrF 光刻机（scanner）Inline 联机使用，完成曝光之外的全部光刻工序：HMDS 增粘、旋转涂胶、软烘、曝光后烘烤（PEB）、显影、硬烘、冷板冷却、EBR 去边/背面清洗及片盒到片盒全自动传送。设备须支持 SECS/GEM 联机通讯，可通过接口机器人、承片单元与缓冲片盒与光刻机自动对接，同时支持 Offline 独立运行模式（可单独完成涂胶或显影工艺）。 上述采购需求中未明确允许采购进口产品的，视为拒绝进口产品参加。 合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后8个月内，待接到招标人通知完成设备安装调试验收。 设备4：自动匀胶显影设备 数量：1套 简要技术要求：自动匀胶机是实现晶圆表面光刻胶或功能材料薄膜均匀涂覆的核心工艺装备。其通过高精度控制基片旋转的转速、加速度和旋转时间，利用离心力使滴涂的胶体均匀铺展，从而获得厚度高度均匀、无缺陷的薄膜。自动化程序可存储和精确复现不同材料的工艺配方，极大保证了工艺的重复性和一致性，是平台中试能力建设的体现。该设备将广泛用于柔性神经电极和其他器件制造中光刻胶、聚酰亚胺前驱体等多种溶液的涂覆工艺。 上述采购需求中未明确允许采购进口产品的，视为拒绝进口产品参加。 合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后8个月内，待接到招标人通知完成设备安装调试验收。 设备5：晶圆清洗机 数量：1套 简要技术要求：晶圆清洗机是为确保薄膜沉积与光刻工艺前衬底表面绝对洁净而设计的高可靠性系统。本次采购的晶圆清洗机，集成多种化学药剂清洗手段，可集成ACT-NE14等化学清洗液清洗干法刻蚀产生的有机物残留，同时兼容金、铜、铝等刻蚀液，实现有机物残留和金属清洗去除。 上述采购需求中未明确允许采购进口产品的，视为拒绝进口产品参加。 合同履行期限：合同签订后，且收到采购人发货指令后8个月内，待接到招标人通知完成设备安装调试验收。 设备6：单片RCA清洗机 数量：1套 简要技术要求：全自动RCA清洗设备是依据经典的RCA清洗法原理构建的全自动单片湿法处理系统。其核心工作原理是通过程序控制，使晶圆依次接触一系列特定温度、特定配比的高纯度化学药液，利用物理与化学反应协同作用去除表面污